簡要描述:國產小型桌面式快速退火爐 4寸真空,RTP500SV,使用多溫區(qū)控溫,可通過APP界面調節(jié)溫度均勻性。優(yōu)秀的光源冷卻系統(tǒng)確保光源壽命達到國際水平??茖W的波長分布保證半導體材料可有效吸收。
詳細介紹
國產小型桌面式快速退火爐 4寸真空
產品優(yōu)勢
真實反應實時溫度,不會使用低靈敏度單元隱藏溫度過沖,溫度不穩(wěn)不是樣品實際溫度等問題。自研非傳統(tǒng)PID溫控,即使在最大升溫速率下仍可保證不過沖。
優(yōu)秀的熱交換系統(tǒng),比同類產品功耗低70%,因此也善于長時間加熱,和國外同類產品比對水冷要求低,耗電量低,高溫持續(xù)加熱時間長。不會像某些產品那樣因高溫長時間加熱造成腔體產生異味甚至損壞。
使用多溫區(qū)控溫,可通過APP界面調節(jié)溫度均勻性。優(yōu)秀的光源冷卻系統(tǒng)確保光源壽命達到國際水平。科學的波長分布保證半導體材料可有效吸收。不會像某些產品遇到脆弱樣品就發(fā)生變形甚至裂片。
異常保護,安全設計,對氫氣,氨氣等特殊氣氛的使用經驗豐富。30年間用戶安全使用無事故。對軍線,美國芯片法案禁運企業(yè)使用設備保障有力。20年前設備仍可正常維護。供應鏈安全,設備配件供應,貨期有保障。
國產小型桌面式快速退火爐 4寸真空
規(guī)格:
快速退火爐是一種用于材料科學和半導體工業(yè)的高效熱處理設備,通過快速升降溫(通常在幾秒到幾分鐘內達到目標溫度)實現(xiàn)對材料的精確退火處理。其核心優(yōu)勢在于快速熱響應和精確溫度控制,廣泛應用于半導體晶圓、薄膜材料、金屬合金等的工藝優(yōu)化。
應用領域
1.半導體制造:
離子注入后激活摻雜原子(如硅晶圓中磷、硼的激活)。
修復晶格缺陷,提升電子遷移率。
2.薄膜材料:
金屬薄膜(如銅、鋁)的致密化和導電性優(yōu)化。
透明導電氧化物(如ITO薄膜)的結晶度調控。
3.新能源材料:
太陽能電池(如PERC、HJT電池)的鈍化層退火。
鋰離子電池電極材料的晶相調整。
4.科研領域:
納米材料(量子點、石墨烯)的快速合成與改性。
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